Lista över tekniska parametrar för flerskiktsoptisk beläggningsmaskin

Modell

GX-1050A

GX-800A

GX-900A

GX1200A

Beläggningsrumsstorlek

1050 * 1250304 rostfritt stål.

800 * 1000

900 * 1050

1200 * 1250

Belagd hålrumsstorlek

Fixturstöd från marken 1680mm, lämpligt för drift av mänsklig teknik.

Fixturstöd från marken 1468mm, lämplig för drift av mänsklig teknik.

Fixturstöd från marken 1510 mm, lämplig för drift av mänsklig teknik.

1 Arch Type Single Work Piece, i större utsträckning för att tillgodose kundernas behov för enhetlighet. Roterande 5-30r/min, steglös hastighetsförändring.

2 Arch Type Three Workpiece Plate, planetens rotation, i större utsträckning för att tillgodose kundernas behov på produktionen. Roterande 5-30r/min, steglös hastighetsförändring.

Verktygsarmatur

För fyra delar är konsolvinkeln justerbar i större utsträckning för att möta kundens behov enhetlighet. Roterande 5-30r/min, steglös hastighetsförändring.

Arch Type Single Work Piece, i större utsträckning för att tillgodose kundernas behov för enhetlighet. Roterande 5-30r/min, steglös hastighetsförändring.

Arch Type Single Work Piece, i större utsträckning för att tillgodose kundernas behov för enhetlighet. Roterande 5-30r/min, steglös hastighetsförändring.

vakuum system

Enhet: Diffusion Pump DIP-12000 (LAI BAO), ZJY-300 2X-70 rötter pump, mekanisk pump, pumpunderhåll 2x-8. Rör för 304 rostfritt stål.

Enhet: Diffusion Pump KT-400 (Zhen Hua), ZJY-150 2X-70 rötter pump, mekanisk pump, pumpunderhåll 2x-8.

Enhet: Diffusion Pump KT-600 (Zhen Hua), ZJY-600 2X-70 rötter pump, mekanisk pump, pumpunderhåll 2x-8.

Enhet: Diffusion Pump KT-800 (Zhen Hua), ZJY-600 2X-70 rötter pump, mekanisk pump, pumpunderhåll 2x-8.

Ultimat vakuum: bättre än 4 x PA 10-4.

Konfiguration av anti -turbulensutrustning, Safety Interlock Design, Manual, Automatic Valfritt.

värmesystem

Värmningsrör på värmeläget, PID -kontroll, den högsta 350 C + 1,5.

Gasinflation

Gasmassaflödesstyrningsinstrument eller manuell finjusteringsladdningsventil.

Vakuumjoniseringsbombard

DC 3KV, 06KW Rod Cathode (för beläggning före självrengöringen av arbetsstycket).

Avdunstningskälla (valfritt)

1 Telemark-270 Electron Gun (Import), 6kW, Högtryck 4KV-10KV justerbar. Skanning, skanning, cirkulär skanning och spiralskanning. Fokus för strålen är bra, positioneringsnoggrannheten är hög och reproducerbarheten är bra.

2 inhemsk elektronpistol (Zhen Hua): 6kW, högt tryck 4 kV ~ 8kV justerbar, kan fritt välja triangelvåg, sinusvåg, fyrkantig vågskanning.

3: Six Hole Crucible Phi 38 * 20 eller fyra håls degel PHI 38 * 20 Plus A 87 Point Center Arc Crucible (för en stor mängd lågsmältpunkt för indunstning av punkt) eller fyra poäng med 48 x 18 Crucible.

Jonkälla (valfritt)

1 RF (radiofrekvens) jonkälla (import).

2 5KVA Holzer Ion Source (Zhen Huachan), som används för elektroplätering före rengöring eller pläteringsprocess för att hjälpa plätering, bidrar till att förbättra filmen Refractive Index, Firmness, förbättra filmtätheten, vidhäftning.

Filmtjocklekskontrollsystem (urval)

1.MDC-360 Crystal Control-enhet (importerad) kan lagra 1 ~ 99 lager automatisk beläggningsprocess, 99 typer av programdata, precision 0,5%+1 fast fel. 2Telemark-880 Crystal Control-enhet (importerad): Kan lagra 1 till 99 lager automatisk beläggningsprocess, 99 typer av programdata. Precision 0,5%+1 fast fel.

3.Telemark-820 fotokontroller (import): Full spektrumänd med en analys av flera våglängder, genom överföring av övervakning 370-870 mm (eller reflektans) kurvanalys för att bestämma slutet på filmen. Kontrollprecisionen är hög och kontrollen med en enda våglängd, automatisk styrning och manuell styrning kan användas. Ytterligare macileodmembransystemberäkningsprogramvara, hög integration.

4.Telemark-820 Light Controller med Telemark-880 Controller kan möta kristallfilmen med hög noggrannhet och hög repeterbarhetskrav. Med värddatorn kan du inse automatisk kontroll.

5 Inhemsk fotokontroller (såsom typ 9704 som stöder monokromatorvåglängden 330 ~ 870 etc.) Justerbar kan precision nå 1,5 Nm.

Handdriven enhet

Med magnetisk bas kan placeras i vakuumkammardörren och kontrollskåpets godtyckliga läge.